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863計劃、國家科技支撐計劃制造領域2014年度備選項目征集指南
關鍵詞： 控制額 微納 光纖激光器 飛秒激光 脈沖序列 節能控制器 可制造性 典型工藝 燒結成型 零速
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4.微納制造技術
針對物聯網、智能制造等戰略性新興產業發展對高性能、多功能、低功耗微納器件及系統的需求，攻克微納器件與系統的設計、制造、集成化前沿核心技術，解決能夠引領產業發展的微納制造關鍵共性技術，研制一批能夠提升產業核心競爭力的微納器件與系統。
4.1 物聯網用高性能硅基微納器件及系統的設計與制造
針對物聯網、智能制造等戰略性新興產業對高性能微納傳感器、陣列化微納傳感器及其系統、多功能微納系統的需求，攻克高端微納器件可制造性設計技術、陣列化微納傳感器兼容工藝技術、三維異質集成技術等關鍵技術，研發出高性能三維系統和批量化高精度硅壓力傳感器系列產品，提高流程工業的核心競爭力并支撐物聯網未來的發展。設5個研究方向:
4.1.1 工業過程控制高精度硅壓力傳感器及系統（國撥經費控制額不超過1000萬元、企業牽頭申報，前沿技術類）
針對智能制造裝備、系統控制技術發展需求，突破高精度、高可靠性硅壓力傳感器及變送器批量化制造工藝一致性、穩定性、可靠性等關鍵技術，形成高精度、高可靠性硅壓力傳感器及變送器批量生產技術規范，建立年產10萬套的生產線，傳感器精度優于0.075%，成品率大于90%，實現規?；瘧?。
4.1.2 高端微納器件可制造性設計技術（國撥經費控制額不超過500萬元、企業牽頭申報，前沿技術類）
針對物聯網應用對高端微納器件與系統的批量化需求，研究硅基MEMS制造工藝相對偏差較大導致的器件成品率較低問題，突破制造工藝模擬、制造過程可測試性、考慮工藝偏差的微納器件設計與優化等關鍵技術，開發出商用設計軟件模塊并在生產線應用。
4.1.3 陣列化微納傳感器設計與制造技術（國撥經費控制額不超過1000萬元、企業牽頭申報，前沿技術類）
針對物聯網發展對高性能、低功耗微納傳感器的需求，突破陣列化微納傳感器及接口電路的低功耗設計、制造、封裝、測試等關鍵技術，研制出6萬個以上陣列單元及其系統，實現規?；瘧?。
4.1.4 微納系統三維異質集成化技術（國撥經費控制額不超過1000萬元，前沿技術類）
針對物聯網發展對多功能、低功耗微納系統的需求，突破微納系統三維異質集成的設計、對準、封裝、測試等關鍵技術，研制出包括微能源、微納傳感器、信號處理與收發電路等多功能微納系統原型，實現示范應用。
4.1.5 硅基氮化鋁微納系統（AlN-MEMS）的設計與制造技術（國撥經費控制額不超過1000萬元、企業牽頭申報，前沿技術類）
針對物聯網發展對多功能、低功耗、無線微納系統的需求，突破硅基AlN薄膜制造與測試技術、硅基AlN-MEMS設計與兼容制造工藝，研發出聲波傳感器、諧振器、能量收集器等3種以上器件，建立年產達1000萬只器件的生產線，實現規?；瘧?。
4.2 高性能金屬微納結構制造技術及裝備
針對高端裝備發展對微型金屬慣性開關、安保機構、點火靶微孔的需求，攻克金屬UV-LIGA（紫外光-光刻電鑄成型）的設計制造關鍵技術、飛秒激光脈沖序列微納加工的關鍵工藝技術及系統集成技術，研發出飛秒激光脈沖序列微納加工裝備和批量化微型金屬慣性開關與安保機構產品，支撐我國高端裝備發展。設2個研究方向:
4.2.1 紫外光-光刻電鑄成型（UV-LIGA）規?；圃旒夹g（國撥經費控制額不超過1000萬元、企業牽頭申報，前沿技術類）
針對高端裝備發展對微型金屬慣性開關和安保機構的需求，研究金屬UV-LIGA（紫外光-光刻電鑄成型）的設計、制造、測試、裝配等關鍵技術，攻克批量制造的一致性，形成批量生產技術規范，建立年產30萬只器件的生產線，實現規?；瘧?。
4.2.2 飛秒激光脈沖序列微納加工關鍵工藝與裝備（國撥經費控制額不超過1000萬元，前沿技術類）
針對高端裝備發展對大長徑比金屬微納結構制造的需求，解決飛秒激光脈沖序列微納加工的關鍵工藝技術、系統集成技術，研制出飛秒激光脈沖序列微納加工裝備，實現示范應用。