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2013年09月17日16:40 | 中國發展門戶網 www.chinagate.cn | 給編輯寫信 字號：T|T

 

附件1

2014年項目指南說明

1. 項目任務：40nm集成電路制造用300mm硅片技術研發

項目編號：2014ZX02405

項目類別：材料技術研發

項目目標：

1） 研究開發300mm硅單晶生長、硅片加工、外延片制備、硅片分析檢測等300mm硅片產業化全套生產技術，滿足40nm集成電路生產線產品技術要求，通過用戶企業驗證考核及供應商資質認證，實現批量供貨；

2） 承擔企業應有月產不低于10萬片300mm硅片的投資與實施計劃，構建與集成電路行業國際先進水平接軌的技術和管理人才團隊，建立完善的技術開發、生產運行、品質管理、市場開拓運行體系；

3） 項目完成時，月銷售不低于1萬片。

項目承擔單位要求：中國大陸境內注冊的、具有獨立法人資格的硅片制造企業。

組織實施方式：公開發布、擇優支持

資金來源：中央：地方：企業=1:0.5:1，前立項后補助

執行期限：2014-2016

2. 項目任務：電子級多晶硅材料研發

項目編號：2014ZX02404

項目類別：材料技術研發

項目目標：針對40nm集成電路用12英寸硅單晶產品要求，研究開發電子級多晶硅生產技術，提升產品品質，產品純度高于11N；本征基磷電阻率高于500 Ohmcm, 本征基硼電阻率高于5000 Ohmcm；碳含量低于80ppba；體金屬總含量小于1.5ppbw；表面金屬含量要求：Fe小于0.25ppba、Cu小于0.025 ppba、Ni小于0.04 ppba、Cr小于0.045 ppba、Zn小于0.09 ppba、Na小于0.98 ppba、Al小于0.52 ppba、K小于0.43 ppba；通過硅片生產企業產品驗證考核與供應商資質認證，簽訂長期供應合同，集成電路硅片用多晶硅年銷售不低于200噸。

項目承擔單位要求：中國大陸境內注冊的、具有獨立法人資格的多晶硅制造企業。

組織實施方式：公開發布、擇優支持

資金來源：中央：地方：企業=1:0.5:1，后立項后補助

執行期限：2014-2016

3. 項目任務：先進裝備與材料在AMOLED領域中的應用開發

項目類別：裝備技術研發

項目編號：2014ZX02601

項目目標：基于 02專項在集成電路裝備、材料等領域研發取得的相關技術，支持在AMOLED等新型顯示領域開發應用，推動新型顯示裝備、材料開發應用，提升顯示產業創新能力。

重點支持：

1. AMOLED設備應用：面向G4.5及以上AMOLED等平板顯示領域需求，針對新型顯示領域對光刻機、刻蝕機、PVD、CVD、清洗機、激光退火等要求，聯合集成電路裝備企業開展相關技術的應用開發及工藝驗證，用過用戶考核，形成批量制造能力并實現銷售；

2. AMOLED材料應用：針對G4.5及以上平板顯示領域對關鍵材料的要求，聯合集成電路靶材、特種氣體、顯影液、刻蝕液、光刻膠等關鍵材料企業，進行相關技術的應用開發及工藝驗證，通過用戶考核，實現關鍵材料的長期供貨。

項目承擔單位要求：中國大陸境內注冊的、具有獨立法人資格的大型平板顯示產品制造企業，聯合裝備、材料企業和研究單位承擔。

組織實施方式：公開發布，擇優支持

資金來源：國撥：地方：企業＝1 : 0.5：1

項目周期：2014－2016

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